更新时间:2024-07-30
HE-960H-PA磷酸盐浓度监测仪HORIBA堀场磷酸浓度监测仪HE-960H-PA
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 环保 |
HE-960H-PA磷酸盐浓度监测仪HORIBA堀场
总览
磷酸浓度监测仪HE-960H-PA可以监测半导体蚀刻工艺中所用磷酸(浓度为80-90wt%的温度:20-100℃范围内)的磷酸浓度。
采用玻璃碳传感器,可以地抑制高浓度下的极化影响,并且仅用磷酸的浓度就可以测量出80-90wt%的浓度。
特征
半导体蚀刻工艺中的磷酸浓度监测
过程监控应用的理想选择
提供4ch传输输出(模拟)
提供5ch触点输出
提供数字输出RS485
采用玻璃碳电极(自适应传感器:FES-510系列)
准确测量高浓度磷酸
製品名 | 高濃度リン酸濃度計 |
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型式 | HE-960-PA |
測定範囲 | リン酸濃度 80-90wt% |
伝送出力 | 4点 |
通信出力 | RS-485 |
電源 | 定格電圧 DC 24V 10W(max.) |
外形寸法 | 96(W) mm x 96(H) mm x 115(D) mm |