更新时间:2024-07-30
HORIBA堀场HE-960H-TM-S高精度TMAH浓度监测仪高精度TMAH浓度监测仪HORIBA堀场HE-960H-TM-S浓度监测仪
品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 进口 |
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应用领域 | 环保 |
HORIBA堀场HE-960H-TM-S高精度TMAH浓度监测仪
总览
TMAH浓度的高精度测量,TMAH浓度是半导体/液晶工艺中使用的光刻胶显影剂的主要成分。我们拥有一系列的耐化学腐蚀传感器。
特征
高精度:重复性在±0.003wt%之内
大范围
浓度:0-3%,电导率:0-1000 mS / cm
显示范围自动切换功能
能够测量3种TMAH浓度,电导率和温度
使用耐化学腐蚀碳传感器
24V DC电源
符合RoHS的产品
型式 | HE-960H-TM-S |
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薬液種 | TMAH |
測定範囲 | 濃度: 0 - 3%, 導電率: 0 - 1000mS/cm |
繰り返し性 | +/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて) |
直線性 | +/- 0.003wt%以内 (温度変動幅+/-0.5℃以内、導電率等価入力にて) |
伝送出力 | 4点 |
接点出力 | 5点 |
通信出力 | RS-485 |
電源仕様 | 24V DC +/- 10% 10W |
適合センサ | FES-510 Series |
センサ接液部材質 | GC, PFA, Karletz® |